[14p-2U-1~11] 17.4 デバイス応用

[14p-2U-2] 集束イオンビームによる多層カーボンナノチューブへのトンネルバリアの作製と評価

〇富沢 啓^1,2、山口 智弘¹、秋田 成司³、石橋 幸治^1,2,4 (1.理研、2.東理大理、3.大阪府大工、4.理研創発物性センター)

キーワード：多層カーボンナノチューブ、集束イオンビーム