[14p-2U-1~11] 17.4 Device applications

△ [14p-2U-8] Electrically controlled actuation of carbon nanotube cantilever

〇kenshi inotani¹, takayuki arie¹, kuniharu takei¹, seiji akita¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:CNT

カーボンナノチューブ(CNT)機械共振器は超高感度質量・熱量センサ等の応用が期待されている。本研究では簡単な工程で製作できる静電引力駆動型の片持ち梁CNTナノ電気機械システム（CNT-NEMS）を提案する。