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[14p-2V-1] 蛍光X線分析装置小型化・低価格化と焦電結晶型電子線マイクロアナライザ
キーワード：X線分析、X線発生、X線検出
1990年代以前の蛍光X線分析装置は，高価で複雑に完成された据置型装置であった．現在は装置の低価格化と自作が進行している．環境試料などの毎回異なる試料を分析する場合には，小型装置で十分である．電子ビームを発生させる方法として，LiTaO3などの焦電結晶による高電圧源を利用する方法は，ロータリー・ポンプの低真空中で100マイクロメートル径の電子ビームを発生できるので，分解能は悪いが，掌サイズのEPMAやTEMが自作可能となった．X線はPutterman(2008)がNatureに発表したように真空中でテープ剥離しても発生するし，我々が最近発表した氷砂糖をハンマーで叩いても発生する．数ワットのX線管を用いる全反射蛍光X線分析装置はSPring-8と比較しても感度は優れ，絶対量でピコ・グラムの多元素同時検出ができる．