2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14p-4A-1~26] 11.4 アナログ応用および関連技術

2015年9月14日(月) 12:45 〜 20:00 4A (431-1)

座長:堺 健司(岡山大),宮戸 祐治(阪大),山下 太郎(NICT),浮辺 雅宏(産総研)

17:30 〜 17:45

[14p-4A-18] TiN/AlN/TiN接合の作製

〇中山 武1、田井野 徹1、明連 広昭1、成瀬 雅人1 (1.埼大院)

キーワード：超伝導トンネル接合