[14p-4A-1~26] 11.4 アナログ応用および関連技術

[14p-4A-3] 高温超伝導SQUIDグラジオメータとフリップチップ接続した入力コイルの磁気結合

〇安達 成司¹、塚本 晃¹、押久保 靖夫¹、田辺 圭一¹ (1.超電導工研)

キーワード：高温超伝導体、SQUID、入力コイル

高温超伝導体を用い、磁場環境の悪い場所でも使用可能な非破壊検査装置の開発を行っている。信号を取得する部分とその微弱な信号を測るSQUID部分を分離したシステムである。SQUIDには動作が安定なグラジオメータを用い、別基板上の超伝導薄膜入力コイルを貼り合わせるフリップチップ構造を採用した。信号伝達効率は両者の設計や配置によって影響を受ける。種々の異なる入力コイルを用いた場合の結合効率について調査した。