[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

△ [14p-4E-16] 電界蒸発による軽元素イオンの分析に向けた直線形飛行時間分析装置の開発

〇羽路 祐紀¹、曽根 輔¹、辻 博司¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：飛行時間分析、電界蒸発、TOF質量分析

アトムプローブにおける軽元素の電離機構解明に向けて飛行時間形質量分析 (TOF) 装置の製作に着手し、電界蒸発したWイオンのTOF 測定を試みた。電界蒸発イオンの検出に先立ち、電界電離Arイオンを今回製作した TOF装置 により分析し、飛行時間が理論値とほぼ一致することを確認した。続いてWの電界蒸発イオンのTOF測定を行い、W⁴⁺と考えられるイオンを検出した。