2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

2015年9月14日(月) 12:30 〜 18:15 4E (437)

座長:阿保 智(阪大),瀬木 利夫(京大),柳沢 淳一(滋賀県立大)

17:15 〜 17:30

[14p-4E-18] 低真空クラスターSIMS分析に向けた基礎研究

〇鈴木 敢士1、草刈 将一1、藤井 麻樹子1、瀬木 利夫1、青木 学聡1、松尾 二郎1 (1.京大院工)

キーワード:二次イオン質量分析、ガスクラスターイオンビーム