[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

[14p-4E-19] TOF-SIMSを用いた高温環境下におけるSi-Al界面の観察

〇渡邉 騎通¹、間宮 広明¹、阿部 冨士雄²、大久保 雅隆³、北澤 英明¹ (1.物材機構 量子ビーム、2.物材機構 材料信頼性評価、3.産総研 エレクトロニクス・製造領域)

キーワード：飛行時間型二次イオン質量分析法、高温ステージ

耐環境下コーティング（EBC）の膜中や耐熱金属との界面における水素、酸素、水等の軽元素の拡散現象を捉えることを目的として、TOF-SIMS装置に、高温ステージ（最高温度600℃）を導入した。テスト試料として、Si基板上にAl(25nm)/Co(2nm)の積層膜を作製し、共晶点（575℃）直上の高温環境下で、Si-Al界面での組織観察を、TOF-SIMSを用いて観察した。