[14p-4F-1~8] 誘電体・強誘電体材料およびデバイスの新展開を求めて

[14p-4F-1] 強誘電体をはじめとした薄膜材料と半導体不揮発性メモリ開発

〇藤崎 芳久¹ (1.元日立製作所研究開発本部)

キーワード：半導体、不揮発メモリ、開発動向

現代社会はあらゆるインフラ機能がデジタルデータで制御されており、その多くがデータセンターにあるハードディスクに格納されている。膨大な数のハードディスクが消費するエネルギーが今、大きな社会問題となっている。これを解決する手段として、よりエネルギー消費の小さい強誘電体を始めとする機能性薄膜を用いた半導体不揮発メモリの開発が活発化している。本講演ではそれら半導体不揮発メモリの開発動向を紹介する。