16:45 〜 17:15
[14p-4F-7] MEMS研究者から見た圧電MEMSと圧電材料
キーワード:MEMS(微小電気機械システム)、圧電薄膜、圧電MEMS
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » 誘電体・強誘電体材料およびデバイスの新展開を求めて
2015年9月14日(月) 13:30 〜 17:45 4F (438)
座長:藤村 紀文(大阪府立大),神野 伊策(神戸大)
16:45 〜 17:15
キーワード:MEMS(微小電気機械システム)、圧電薄膜、圧電MEMS