2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 誘電体・強誘電体材料およびデバイスの新展開を求めて

[14p-4F-1~8] 誘電体・強誘電体材料およびデバイスの新展開を求めて

2015年9月14日(月) 13:30 〜 17:45 4F (438)

座長:藤村 紀文(大阪府立大),神野 伊策(神戸大)

16:45 〜 17:15

[14p-4F-7] MEMS研究者から見た圧電MEMSと圧電材料

〇吉田 慎哉1、田中 秀治1 (1.東北大工)

キーワード：MEMS（微小電気機械システム）、圧電薄膜、圧電MEMS