[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-13] パルスレーザー堆積法により作製したSrF₂薄膜によるフィルタレス真空紫外光検出器の開発

〇(M1)大谷 祥永¹、村松 宗太郎¹、石川 紘¹、小野 晋吾¹ (1.名工大)

キーワード：紫外センサ、フッ化物、パルスレーザー堆積法