[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-7] 光ハイブリッド溶液反応を用いたフレキシブル導電膜

鵜澤 裕子¹、中島 智彦¹、〇土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブル膜、抵抗体

これまでの抵抗体などの電子部品には、鉛を含むガラス成分が含まれていたが、本技術では、感光性の金属有機化合物と無機材料粒子からなるハイブリッド溶液を低温焼成もしくは光反応処理することで、ガラス成分を含まないフレキシブル導電成膜の作製可能とした。多様な酸化物材料をポリイミドや無機材料などの各種基材に作製可能とする手法である。本講演では、成膜法、抵抗、抵抗温度係数制御などについて報告する。