[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-8] 全ALD構成水蒸気ハイバリア膜の作製および評価

〇座間 秀昭¹、本田 和広¹、大園 修司¹ (1.アルバック超材研)

キーワード：原子層堆積法、水蒸気バリア

大気中水分との反応劣化が懸念される微細化デバイスの保護膜として、全て原子層堆積法による積層膜で構成された水蒸気ハイバリア膜を提案し、その作製および評価結果を報告する。