[14p-PA11-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-PA11-2] 導電性AFMを用いてのc-Si基板上α‐Si薄膜の測定時における表面電流変化の分析

〇(M2)澤木 駿輔¹、西田 哲¹、栗林 志頭眞¹ (1.岐阜大院工)

キーワード：アモルファスシリコン、原子間力顕微鏡(AFM)