[14p-PA11-1~8] 6.6 Probe Microscopy

[14p-PA11-6] Development of nanoscale thermal probe in TEM

〇Youhei Kakefuda¹, Kawamoto Naoyuki¹, Yamada Isamu¹, Mori Takao¹, Mitome Masanori¹, Bando Yoshio¹, Golberg Dmitri¹ (1.NIMS)

Keywords:transmission electron microscopy,thermocouple

所望のナノスケールの領域の熱物性を高感度に測定するための手法として、透過電子顕微鏡(TEM)を利用したナノスケールの熱伝導計測手法の開発が注目されている。
本研究では、TEM内における熱伝導率の直接評価に向けた高感度温度計測用熱電対ナノプローブの開発を行った。電解研磨によりクロメル‐コンスタンタンプローブを作製した結果、先端の曲率半径5nm以下を達成できることがわかった。