[14p-PA11-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-PA11-6] 熱物性評価のための熱電対ナノプローブの作製

〇掛札 洋平¹、川本 直幸¹、山田 勇¹、森 孝雄¹、三留 正則¹、板東 義雄¹、ゴルバーグ デミトリ¹ (1.物材機構)

キーワード：透過電子顕微鏡、熱電対

所望のナノスケールの領域の熱物性を高感度に測定するための手法として、透過電子顕微鏡(TEM)を利用したナノスケールの熱伝導計測手法の開発が注目されている。
本研究では、TEM内における熱伝導率の直接評価に向けた高感度温度計測用熱電対ナノプローブの開発を行った。電解研磨によりクロメル‐コンスタンタンプローブを作製した結果、先端の曲率半径5nm以下を達成できることがわかった。