[14p-PA11-1~8] 6.6 Probe Microscopy

[14p-PA11-8] Surface analysis of barium silicide film at initial growth on Si(111) using STM

〇Osamu Kubo¹, Takuro Otsuka¹, Shouta Okasaka¹, Hiroshi Tabata¹, Mitsuhiro Katayama¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:silicide,barium,scanning tunneling microscopy

Baシリサイドは新たな薄膜太陽電池材料として期待されており、その表面構造を知ることは電極との接合界面等の理解において重要である。しかし、STMを用いた研究では、Ba吸着量が1層以下のSi表面再構成に関する報告が多く、シリサイド表面の観察例はほどんどない。我々は、Si(111)基板上での熱反応堆積法においてBa供給速度を大きくすることでBaシリサイド薄膜の成長に成功し、その表面構造の評価を行った。