[14p-PA12-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[14p-PA12-9] 水晶振動子センサーによるマイクロ光造形プロセスの解析

〇土屋 諭¹、村松 宏¹ (1.東京工科大院バイオ)

キーワード：水晶振動子センサー、３Dプリンター、フェムト秒レーザー

マイクロ光造形法を用いることにより、水晶振動子センサーにおける面内感度の測定などを行うことが可能と考えられることから、今回は、この研究の一環として、水晶振動子センサーによりマイクロ光造形プロセスをモニタリングし、水晶振動子センサーがどのような応答をするかを調べた。この結果、レーザー光の照射に対する共振周波数の応答が検出されるとともに、質量増加に伴うものと考えられる変化を同時に検出された。