[14p-PA13-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-PA13-15] ゾルゲル法によるCuYO₂薄膜の形成と結晶性の作成条件依存性

〇惠原 貴志^1,2、阿部 真理奈¹、中西 貴吉¹、佐々木 広平¹ (1.石巻専修大理工、2.石巻専修大人間)

キーワード：ゾルゲル法、CuYO2、デラフォサイト

デラフォサイト型酸化物であるCuYO₂薄膜の作成をゾルゲル法で行った。原料物質として酢酸銅と酢酸イットリウム、溶媒2-メトキシエタノール、錯化剤2-アミノエタノールを用いた溶液を石英基板上にスピンコートし、 窒素中熱処理を行って試料を作製した結果、800℃、10時間の加熱によりc軸配向した結晶の形成が確認された。しかし、CuAlO₂に比べ、c軸配向する熱処理条件の範囲は狭いことがわかった。