18:30 〜 20:30
[14p-PA13-17] 透過電子顕微鏡によるNbドープTiO2透明導電膜の膜内構造観察
キーワード:透明導電膜、透過電子顕微鏡、酸化物エレクトロニクス
NbドープTiO2(TNO)透明導電膜の実用化に取り組んでいる。スパッタ法で作成したTNO膜の膜内構造のプロセス圧力(Pw)依存性を、透過電子顕微鏡による断面観察で評価した。その結果、Pwが低いほど、膜密度の揺らぎの小さい均質な膜となることがわかった。注目すべき事に0.50 Paで作製したスパッタ膜は、パルセレーザー堆積法で作成した膜と同等の低い抵抗率と高い移動度とを示した。膜内構造と輸送特性との相関の詳細は当日報告する。