2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[14p-PA13-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2015年9月14日(月) 18:30 〜 20:30 PA13 (イベントホール)

18:30 〜 20:30

[14p-PA13-17] 透過電子顕微鏡によるNbドープTiO2透明導電膜の膜内構造観察

〇小川 大輔1、中尾 祥一郎2,3、森河 和雄1、廣瀬 靖2,3,4、長谷川 哲也2,3,4 (1.都産技研、2.KAST、3.CREST、4.東大院理)

キーワード:透明導電膜、透過電子顕微鏡、酸化物エレクトロニクス

NbドープTiO2(TNO)透明導電膜の実用化に取り組んでいる。スパッタ法で作成したTNO膜の膜内構造のプロセス圧力(Pw)依存性を、透過電子顕微鏡による断面観察で評価した。その結果、Pwが低いほど、膜密度の揺らぎの小さい均質な膜となることがわかった。注目すべき事に0.50 Paで作製したスパッタ膜は、パルセレーザー堆積法で作成した膜と同等の低い抵抗率と高い移動度とを示した。膜内構造と輸送特性との相関の詳細は当日報告する。