2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[14p-PA4-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

2015年9月14日(月) 13:30 〜 15:30 PA4 (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[14p-PA4-4] III-V-OI基板のパターニングによるボイド低減の検討

〇高島 成也1,2、一宮 佑希1,2、竹中 充1,2、高木 信一1,2 (1.東大院工、2.JST-CREST)

キーワード:III-V-OI、基板貼り合せ、ボイド