[14p-PA4-1~9] 3.15 Silicon photonics

[14p-PA4-7] Fabrication and Evaluation of Spot Size Converter Using Al Mask

〇Takuma Sennichi¹, Yuuto Nakashima¹, Yoshiteru Amemiya¹, Tetsuo Tabei¹, Shin Yokoyama¹ (1.RNBS)

Keywords:Siliconphotonics

Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている[1]。一方で、加工に用いるCMOSプロセスと整合しにくい問題がある。そこで、Alをエッチングマスクに用いたSSCの作製と評価を行った。