2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[14p-PA4-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

2015年9月14日(月) 13:30 〜 15:30 PA4 (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[14p-PA4-7] Alマスクを用いたスポットサイズコンバータの製作と評価

〇千日 拓馬1、中島 悠人1、雨宮 嘉照1、田部井 哲夫1、横山 新1 (1.広大ナノデバイス)

キーワード:シリコンフォトニクス

Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている[1]。一方で、加工に用いるCMOSプロセスと整合しにくい問題がある。そこで、Alをエッチングマスクに用いたSSCの作製と評価を行った。