[14p-PA4-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[14p-PA4-7] Alマスクを用いたスポットサイズコンバータの製作と評価

〇千日 拓馬¹、中島 悠人¹、雨宮 嘉照¹、田部井 哲夫¹、横山 新¹ (1.広大ナノデバイス)

キーワード：シリコンフォトニクス

Siフォトニクスにおいて光入出力用の光ファイバーとSi光導波路の間の結合損失を軽減するスポットサイズコンバータ(SSC)の研究が行われている[1]。一方で、加工に用いるCMOSプロセスと整合しにくい問題がある。そこで、Alをエッチングマスクに用いたSSCの作製と評価を行った。