[14p-PA6-1~11] CS4 9.4 熱電変換,16.2 エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[14p-PA6-1] フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン膜の熱伝導率測定

〇(D)西野 俊佑¹、野澤 尚樹¹、山口 世力¹、宮田 全展¹、大平 圭介¹、小矢野 幹夫¹ (1.北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール、3ω法、周期的ナノ構造