1:30 PM - 3:30 PM
[14p-PA6-9] Structure control of bismuth telluride thin films by pulse plating
Keywords:Thermoelectric thin film,Electrodeposition
本研究ではビスマステルル(Bi-Te)熱電半導体薄膜をパルスめっき法を用いて成膜した.パルス周波数を変化させることで薄膜の構造や熱電物性がどのように変化するかを比較し,熱電半導体の性能向上を目指す.