[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-10] N₂ガス雰囲気中でのアモルファス窒化炭素薄膜内部へのN₂分子の拡散

〇田村 尚之¹、青野 祐美¹、北沢 信章¹、渡邉 芳久¹ (1.防大材料)

キーワード：アモルファス窒化炭素、密度