[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-14] ウイルスの生きたまま観察を実現するためのDLCの特性評価および取得画像の評価

上本 翔¹、門脇 正和¹、木村 亮太¹、縄稚 典生²、塩野 忠彦²、〇上月 具挙¹ (1.広島国際大工、2.広島県総合技術研究所)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、ウイルス

近年，電子顕微鏡技術でも生体試料を観察すべく研究開発が進んでいる。我々は，電子透過膜にDLCを用いた，SEMによる大気中試料観察について研究を進めている。今回，我々は電子透過膜として使用したDLCの特性および，液中試料観察における問題点，解決策について報告する。