[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-7] レーザ照射処理をしたアモルファス窒化炭素の発光及び励起スペクトル

〇池田 和聡¹、福井 一俊¹、山本 晃司²、財部 健一³、中村 重之⁴、伊藤 國雄⁵、山本 伸一⁵、内島 一哉⁵、澤畠 淳二⁶、佐竹 聖樹⁷ (1.福井大工、2.福井大遠赤セ、3.岡理大理、4.津山高専、5.龍谷大工、6.茨城高専、7.明石高専)

キーワード：窒化炭素、非晶質、高周波スパッタリング法