[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14p-PA9-8] グラファイト状窒化炭素薄膜の蒸着合成温度による性質の変化

〇藤田 詩織¹、羽渕 仁恵¹、堀江 弘将¹、滝川 浩史² (1.岐阜高専、2.豊橋技科大)

キーワード：グラファイト状窒化炭素薄膜