[14p-PB11-1~6] 7.6 イオンビーム一般

[14p-PB11-2] XPSによるアルゴンガスクラスターイオンビームを照射したSi基板表面の損傷評価(3)

〇三井所 亜子¹、高橋 真¹、日吉 直樹¹、稲葉 雅之¹、三宅 修吾¹ (1.コベルコ科研)

キーワード：X線光電子分光法、アルゴンガスクラスターイオンビーム