[14p-PB11-1~6] 7.6 イオンビーム一般

[14p-PB11-3] 走査型ヘリウムイオン顕微鏡による電圧印加積層型セラミックコンデンサの二次電子像観察

〇酒井 智香子¹、石田 暢之¹、増田 秀樹¹、小形 曜一郎²、藤田 大介¹ (1.物材機構、2.太陽誘電)

キーワード：走査型ヘリウムイオン顕微鏡、電位分布

新しいポテンシャル計測技術の開発を目的とし、走査電子顕微鏡、ケルビンプローブフォース顕微鏡に比べ高空間分解能(サブナノメートル)を誇り、短時間でデータ取得が可能である走査型ヘリウムイオン顕微鏡を用いて、電圧印加した積層型セラミックコンデンサ(MLCC)の電位分布計測を世界で初めて試みた。電圧印加を行った場合、正負の内部電極に電位コントラストが現れた。今回はこの電位コントラストが現れる理由の考察を行った。