2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[14p-PB11-1~6] 7.6 イオンビーム一般

2015年9月14日(月) 18:30 〜 20:30 PB11 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[14p-PB11-6] 斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成

〇(PC)鈴木 雅視1、柳谷 隆彦1 (1.早稲田大学)

キーワード：斜め蒸着法、c軸傾斜ScAlN薄膜