18:30 〜 20:30
[14p-PB11-6] 斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成
キーワード：斜め蒸着法、c軸傾斜ScAlN薄膜
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
7 ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般
[14p-PB11-1~6] 7.6 イオンビーム一般
2015年9月14日(月) 18:30 〜 20:30 PB11 (白鳥ホール)
一般セッション(ポスター講演)
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2015年9月14日(月) 18:30 〜 20:30 PB11 (白鳥ホール)
18:30 〜 20:30
キーワード：斜め蒸着法、c軸傾斜ScAlN薄膜