[14p-PB12-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14p-PB12-13] 六方晶窒化ホウ素薄膜のCVDにおける成長反応

〇増田 敦¹、梅原 直己²、清水 乙生¹、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦^2,3 (1.静岡大院工、2.静岡大創造大院、3.静岡大電子研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法、薄膜