[14p-PB12-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14p-PB12-22] メサ加工基板を用いたLPEE GaNマイクロチャンネルエピタキシー ーーメサ方向依存性ーー

神林 大介¹、〇岩川 宗樹¹、水野 陽介¹、白木 優子¹、成塚 重弥¹ (1.名城大理工)

キーワード：GaN、LPEE、大気圧