PDF ダウンロード スケジュール 18 いいね! 0 13:30 〜 15:30 [14p-PB2-10] AlGaN/GaNデバイスの表面パッシベーション膜堆積前処理の効果 〇篠原 正俊1、近藤 佑隆1、岡田 浩2,1、関口 寛人1、山根 啓輔1、若原 昭浩1,2 (1.豊橋技科大工、2.豊橋技科大EIIRIS) キーワード:AlGaN/GaNデバイス、表面パッシベーション