[14p-PB3-1~4] 1.5 計測技術・計測標準

[14p-PB3-1] 微小空間における小型静電気センサの計測時間・精度の検討

〇菊永 和也¹、江頭 正浩¹、山下 博史¹ (1.産総研)

キーワード：静電気