[14p-PB7-1~5] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-PB7-1] 成長停止中に融液加熱で発生する格子間シリコンの観察

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹、白井 光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：CZ、Si、点欠陥