[14p-PB7-1~5] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-PB7-2] C₃H₅クラスターイオン注入による近接ゲッタリングサイトに関する第一原理解析

〇白澤 渉¹、末岡 浩治¹、山口 直²、前川 和義³ (1.岡山県大院情報工、2.ルネサスエレクトロニクス、3.ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング)

キーワード：近接ゲッタリング、C3H5クラスターイオン注入、第一原理解析