[14p-PB8-1~3] 7.1 X線技術

[14p-PB8-1] 5nm～20nm域分光計測のための酸化物膜付加高回折効率回折格子

〇小池 雅人¹、長野 哲也² (1.原子力機構量子ビーム、2.島津デバイス)

キーワード：回折格子、軟X線、回折効率

製鋼工程では焼き入れ特性などの向上のため数ppmレベルでのボロン（B）添加量の正確な制御が必要とされている。さらに他の元素との相互作用の解明も必要である。最近著者らはこれらの目的の発光分光分析に用いる軟X線回折格子の回折効率の向上が高密度炭素膜を表面に付加することで可能なことを数値計算で示した。本報告ではよく知られているTiO₂、CeO₂の酸化物系の膜でも同様の効果が得られることを示した。