[14p-PB9-1~4] 7.2 電子ビーム応用

[14p-PB9-2] 高分解能SEMによるゼオライトのコーク分布の解析

〇生頼 義久¹、砂押 毅志¹、岡田 聡¹、横井 俊之² (1.日立ハイテク、2.東工大)

キーワード：ゼオライト、走査電子顕微鏡、エネルギー分散型X線検出器

不均一系触媒反応プロセスにおける析出コーク分布の分析法を検討した。これまで固体触媒上に析出したコークの分析は、熱分析などの質量を測定する分析が行われているが、コークの分布状態を詳細に調べる手法は確立されていない。今回、我々は走査電子顕微鏡(SEM)とエネルギー分散型X線検出器(EDS)を組み合わせることで、コークに含まれるCの分布状態を分析した。