2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:45 1B (133+134)

座長:大島 孝仁(東工大)

10:30 〜 10:45

[15a-1B-6] β-Ga2O3(0\overline{1}0)単結晶のエッチピット観察

〇植松 卓巳1、桝谷 聡士1、森林 朋也1、花田 賢志1、輿 公祥2、佐々木 公平2、倉又 朗人2、嘉数 誠1 (1.佐賀大院工、2.(株)タムラ製作所)

キーワード:酸化ガリウム