2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:45 1B (133+134)

座長:大島 孝仁(東工大)

10:45 〜 11:00

[15a-1B-7] β-Ga2O3基板の結晶欠陥評価(3)

〇永井 哲也1、野網 健悟1、佐々木 雅之1、中居 克彦1、二木 登史郎1 (1.日鉄住金テクノロジー㈱)

キーワード:酸化ガリウム、透過型電子顕微鏡