2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月15日(火) 08:45 〜 11:45 1D (141+142)

座長:小林 康之(弘前大),太田 実雄(東大)

09:15 〜 09:30

[15a-1D-3] 単結晶c-BN薄膜の内部応力に及ぼすイオン照射の影響

〇平間 一行1、谷保 芳孝1、狩元 慎一1、山本 秀樹1、熊倉 一英1 (1.NTT物性研)

キーワード：立方晶窒化ホウ素、イオンビームアシストMBE、ダイヤモンド