[15a-1E-1~10] 3.13 半導体光デバイス

[15a-1E-9] 表面プラズモン結合による量子ドット赤外線検出器の比検出能向上

〇各務 惣太^1,2、田中 朋^1,2、角田 雅弘²、渡邉 克之³、五十嵐 悠一^1,2、黄 晨暉¹、田能村 昌宏¹、白根 昌之^1,2、山本 剛^1,2、萬 伸一^1,2、荒川 泰彦^2,3 (1.NECスマエネ研、2.東大ナノ量子機構、3.東大生研)

キーワード：量子ドット、プラズモン、受光器

我々は量子ドット赤外線検出器(Quantum Dot Infrared Photodetector:QDIP)素子表面の金属電極に周期的な円形開口を設けたプラズモンアンテナを作製し入射光を表面プラズモン結合させることでQDIPの受光感度の上昇による比検出能D*の向上を試みた。QDIPの分光感度ピークとプラズモン共鳴波長が一致するようにアンテナを作製し、結果として比検出能が２倍程度向上することを確認した。