Molecular Dynamics Simulation on Penetration of Fullerene in Thin-Film Ionic Liquid-Assisted Vacuum Deposition Process

Ida Prastiawan

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一般セッション(口頭講演)

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[15a-2J-1~8] 6.4 薄膜新材料

2015年9月15日(火) 09:00 〜 11:45 2J (223)

座長:遠藤和弘　(金沢工大)

11:15 〜 11:30

▲ [15a-2J-7] Molecular Dynamics Simulation on Penetration of Fullerene in Thin-Film Ionic Liquid-Assisted Vacuum Deposition Process

〇(M2)Ida Prastiawan¹, Takeshi Nishimatsu¹, Yuji Higuchi¹, Nobuki Ozawa², Shingo Maruyama², Yuji Matsumoto², Momoji Kubo¹ (1.Institute for Material Research, Tohoku Univ., 2.Graduate School of Engineering, Tohoku Univ.)

キーワード：ionic liquid,thin film,molecular dynamics