[15a-2L-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[15a-2L-4] ナノシート界面層を利用したBaTiO₃薄膜の選択配向成長

野口 慶人¹、茂木 翔太¹、舟窪 浩²、〇内田 寛¹ (1.上智大理工、2.東工大物創)

キーワード：強誘電体薄膜、チタン酸バリウム、ナノシート

ペロブスカイト型酸化物を基にした強誘電体材料は優れた分極特性を有することから様々な電子デバイスにおける応用が幅広く検討されている。それらの薄膜材料に関する研究においては、結晶配向性の制御に基づく材料特性構造のアプローチが数多く提案されており、単結晶基板上に堆積されたエピタキシャル薄膜などにおいて巨大分極特性の実現などの優れた成果が報告されている。本発表では、典型的なペロブスカイト型強誘電体であるチタン酸バリウムBaTiO₃の薄膜材料における結晶配向性ならびに分極特性の制御を目標として、擬ペロブスカイト型の結晶構造を有するCa₂Nb₃O₁₅ナノシートを成長核として利用したBaTiO₃薄膜の結晶性向上と結晶配向性の制御を試みた。