[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [15a-2Q-1] 負荷インピーダンス測定システムによるプラズマエッチング中の異常放電の検出

〇笠嶋 悠司¹、上杉 文彦¹ (1.産総研)

キーワード：プラズマエッチング、インピーダンス測定、異常放電

半導体量産ラインのウエハ工程では、プラズマエッチング工程で発生する異常放電や剥離パーティクルが総合設備効率及び歩留り低下の原因となっている。異常放電は局所的かつ突発的に発生し、ウエハを損傷させるなど大きな問題となっており、実用的な検出手法が強く望まれている。本研究では量産装置への適用性に優れたインピーダンス測定システムを基に実用的な異常放電検出手法を開発した。