[15a-2T-1~12] 17.4 Device applications

△ [15a-2T-5] Fabrication of Graphene Quantum Dots by Current Annealing

〇Yasushi Kanai¹, Takashi Ikuta¹, Takao Ono¹, Ohno Yasuhide^1,2, Kenzo Maehashi^1,3, Koichi Inoue¹, Kazuhiko Matsumoto¹ (1.ISIR, Osaka Univ., 2.Tokushima Univ., 3.TUAT)

Keywords:graphene,quantum dot

化学気相法によって合成したグラフェンをSi/SiO₂基板上に転写し、反応性イオンエッチングによって100 nm程度の幅にエッチングした。さらに室温大気下でグラフェンに電流を流して加熱することにより、グラフェンを微細加工し、量子ドットとして動作させることを行った。希釈冷凍機により10 mK程度で測定したところ量子ドットの特性であるクーロン振動を観測した。